科迈斯将与Lasertec合作共同推广奈米双光源共轭焦显微镜
科迈斯将与Lasertec合作共同推广双光源共轭焦显微镜 Confocal MicroscopyLasertec是一家日本半导体生产及检测设备制造商，总部位于日本新横滨。 Lasertec专精于半导体晶圆和光罩的光学检测设备研发和制造。 Lasertec 的主要产品是半导体ACTIS EUV 检测机，用于检测尖端半导体的光罩及晶圆制造缺陷，并在全球只有Lasertec能生产出这种EUV 紫外光微影的光罩检测设备，在先进制程的光罩检测具有高独占性，也是这类EUV 光罩检测的规格制定者，主要客户就是台积电，英特尔与三星等半导体客户. Lasertec除生产制程用检测设备也提供研发应用的双光源共轭焦显微镜，适用于半导体及精密零组件及各领域研发单位。
▲图二 雷射共轭焦显微镜 Laser Confocal Microscopy
同时具有白光共轭焦显微镜White Light Confocal Microscopy功能
Lasertec 的特殊市场地位：
⋆ 在全球半导体检测设备市场占有领先地位, 尤其是先进制程的光罩相关制作与检测规格。
⋆ 拥有EUV相关制程尺寸检测设备的垄断地位。
⋆ Hybrid双光源共轭焦显微镜同时包含雷射共轭焦与白光共轭焦双功能。
⋆ 在东京证券交易所挂牌并被纳入日经225指数。
注:共轭焦显微镜有些翻译为共焦显微镜, 但专有名词都是Confocal Microscopy
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