X-ray萤光-XRF Hitachi EA1400 XRF：精准分析化学镀镍膜的磷含量与厚度，提升制程品质
Hitachi EA1400 XRF：精准分析化学镀镍膜的磷含量与厚度，提升制程品质
|
|
▲ 图一 Hitachi EA1400 XRF 萤光元素分析仪 |
- XRF条件：管电压 50 kV，自动管电流，胶准器 Φ1 mm，无主滤波片，测量时间 100 秒。
- 气氛：大气环境与真空环境。
- 分析方法：薄膜 FP (Fundamental Parameter) 法。
- 分析元素线：Ni Kα, P Kα, Cu Kα, Fe Kα。
二、分析结果
▲图二 在大气和真空环境中进行的分析结果，时间为100秒，测试次数20
- 厚度测量
o Cu/Ni-P 样品：测得平均值约 11.1 μm，与标准值 11.29 μm 接近，误差 ~2%。
o Fe/Ni-P 样品：测得平均值约 9.89 μm，标准值 10.37 μm，误差 ~5%。
- 磷浓度测量
o Cu/Ni-P 样品：标准值 9.1 wt%，测得值 9.3–9.37 wt%，精度约 103%。
o Fe/Ni-P 样品：标准值 9.9 wt%，测得值 9.88–9.97 wt%，精度约 100–101%。
- 精度比较 (RSD, 相对标准偏差)
o 厚度测量：RSD < 0.2%（非常稳定）
o 磷浓度：在真空下 RSD < 0.5%，优于大气条件下的 ~1.3%
EA1400比较真空环境和大气环境的P讯号感度差异
▲图三 Hitachi EA1400 比较真空环境和大气环境的磷（P）讯号感度差异
三、结论
- EA1400 能同时测量 Ni-P 镀层厚度与磷含量，且在 100 ± 5% 精度范围内。
- 真空环境能提升磷测量的灵敏度与精度，适合需要严格控制磷含量的应用场合。
- 这些测量方法对于 汽车、精密机械、电子、航太、食品制造等领域 的电镀品质管理具有实用价值。
▲图四 Hitachi EA1400 XRF萤光元素分析仪
其他相關訊息
-
02 Feb.2026热传导-TC SiC 热传导系数为什么差很大，从晶面到厚度，快速看懂差异来源
