高分辨率显微镜 HIROX 3D数位显微镜实现快速且精准尺寸及粗糙度测量？

3D数字显微镜如何实现快速且精准测量－以Hirox型号HRX-01为例

▲图一 Hirox数字显微镜可轻松地进行扩展观察，而不受景深的限制

受测样品的实际影像，透过黄色线条与黄色边框标示多个测量项目，包括：

1. 长度、宽度（µm）
2. 面积（µm²）
3. 圆直径、距离等几何参数

▲ 图二 HRX-01实际操作接口影像的水平视野为37mm，影像分辨率为每像素4.99µm

红色圆框为应量测位置，所得量测信息：

1. 圆周率=33344.39 µm
2. 半径=5306.92 µm
3. 直径=10613.85 µm
4. 面积=88478072.93 µm²

▲ 图三 受测类半球样品的横切面，沿Z轴所建立高度剖面图标示多个测量项目

尺寸量测：

1. 垂直高度：4 μm
2. 平均高低差(表面波动参考)：0 μm
3. 半径：2 μm

表面粗糙度量测：

1. Ra（平均粗糙度）: 6.0 μm
2. Rz（最大高低差）: 13.9 μm
3. Rzjis（JIS标准最大高低差）: 13.5 μm
4. Cut-off Length值(截止波长值)：0.2 mm

▲ 图四 HRX-01实际操作接口

说明1.	受测样品的3D高度重建图
说明2.	色彩表示高度变化	红色／橘色为较高的区域 绿色／蓝色为较低的区域 显示高度分布从 0 至约 1700 µm
说明3.	量测数据表

 


▲ 图五 剖面分析图显示剖面高度变化（Z轴对X轴）

1. 清楚描绘出周期性波形
2. 标注Z-Max、Z-Min、高度差、角度、宽度等信息
3. 绿线、红线代表量测标准线位与关键节点
4. 圆形标记表示某一段「曲率半径」量测