双光源共轭焦显微镜 产品型号：OPTELICS HYBRID+
双光源共轭焦显微镜，同时包含雷射共轭焦显微镜、白光共轭焦显微镜、微分干涉观察、垂直白光干涉量测、相差干涉量测、反射分光膜厚量测，等功能。可以测试3D表面轮廓，奈米膜厚，透明膜厚，奈米等级刮痕瑕疵，相差干涉功能做到0.1nm高度差异，多层膜量测，多点量测，自动检查刮伤。
-
双光源共轭焦显微镜OPTELICS HYBRID+功能介绍
双光源共轭焦显微镜同时包含雷射共轭焦显微镜、白光共轭焦显微镜
6 大主要功能模组及 10 大特殊功能：- 雷射共轭焦显微镜 – 高放大倍率高分辨率
- 白光共轭焦显微镜 – 宽视解及具有高精度量测
- 微分干涉观察 – 奈米级(nm)表面轮廓
- 垂直白光干涉仪量测 – 奈米(nm)及形状量测
- 相差干涉量测 – 埃米级(Å or 0.1nm)形状量测
- 反射分光膜厚量测 – 奈米级(nm)透明膜厚度量测
其他特殊功能：- 多波长切换功能，可量测多层镀膜的不同层型态
- 自动多点量测
- 自动检查表面刮痕
- 特殊物镜降低杂讯适合高精度 3D 轮廓量测
- 雷射共轭焦显微镜 – 高放大倍率高分辨率
